微細欠陥検査装置

光学分解能1.8μm・スピード検査!
基板や金属表面の欠陥検査に!

概要

高解像度カメラと高精度X-Yステージを用いた二次元の検査装置です。
光学フィルム、シートやタッチパネルなどの表面キズ、異物の検査や欠陥検査に適しています。
光学分解能「1.8μm」で、非常に高精細な検査が可能です。
寸法測定にも対応でき、二次元の打ち抜き加工品などの検査もできます。

特長

  • 検査データと画像を自動で保存
  • カメラ画素数:900万画素
  • 高い光学分解能(1.8μm)で微細な検査箇所も綺麗に見える
  • タッチパネルの周辺電極、プリント基板の微細配線の断線、短絡の検査に最適


動画

用途

タッチパネル等の欠陥、異物などの検査に!

  • タッチパネル周辺電極欠陥検査
  • シート表面キズ、異物検査
  • 基板欠陥検査

システム構成